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X線画像サンプル1X線画像サンプル2

ICの多機能化、高性能化に伴って、そのパッケージ形状も小型化、多ピン化と進化しています。 またピッチ間も狭くなり、面実装された、これら(BGA=Ball Grid Array、CSP=Chip Size Package)の ICが実装された、基板の品質向上や製品の安全性のために、X線による検査の必要性が高まっています。 弊社では、小型、簡易タイプから精度の高いもの、3Dタイプと様々なX線装置を取り揃えております。

X線観察装置

装置名 : Real Time X-ray Imaging System
型式 : FX-300 / FX-300T

FX-300T

【特徴】

  • 幾何学倍率800倍のマイクロフォーカスX線管を使用(FX-300T)
  • 画像処理PCは、ボイド計測、良品比較検査を可能にするティーチング機能を標準装備
  • カメラが傾斜(最大60度)しても、見ている位置を見逃さない、自動追従機能を搭載
  • X線キャビンは対応ワークサイズ別に、330mm×250mmと600mm×500mm用の2機種から選択可能

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X-PLORER

装置名 : X-PLORER
型式 : IX-100 / IX-200 / IX-300 / IX-400 / IX-500

X-PLORER

【概要】

  • サンプルをXYテーブルに置き、X線を照射することでリアルタイムに透過画像を観察することができます。
  • IC内部(ワイヤーボンディング、ボイド)の観察、プリント配線板内部のパターンの観察、実装基板(BGA、CSP)のはんだ付け観察に最適です。
  • 分度器付傾斜テーブルを用いることで、任意の角度で観察が可能です。角度を傾斜しての観察はBGA/CSPなどの実装基板の検査には必要不可欠の機能です。

【特徴】

  • 角度傾斜テーブル(分度器付、左右180度傾斜可能)により任意角度での観察が可能
  • X線キャビンは対応ワーク別にワークサイズ330×250mm用と600×500mm用(オプション)の2機種から選択可能
  • X線管はミニフォーカスIX-100/100kVと、マイクロフォーカスIX-200/80kV、IX-300/90kV、IX-400/130kV、IX-500/150kVから選択可能
  • 画像処理PCは標準装備、ネットワーク対応可能

【オプション】

  • ティーチングユニット

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小型X線観察装置

装置名 : 小型X線観察装置
型式 : FX-60

FX-60

【特徴】

  • 小型でありながら330×250mmの観察エリア
  • X、Y、Z、θの4軸可動
  • X線管を傾斜しての撮影が可能
  • 手動ダイヤル操作による軸可動でコストダウンを実現
  • ミニフォーカスX線管、マイクロフォーカスX線管を用いた2タイプを用意、観察対象に合わせてお選び頂けます。
  • オプションで電動マニプレータ設定可能。360度回転、cw、ccw、スピード調整

装置名 : 小型X線観察装置
型式 : FX-90

【特徴】

  • 小型でありながら高機能、高倍率、高解像度
  • X、Y、Z1、Z2、R、θの6軸可動
  • 基板を傾斜しての撮影が可能
  • コントロールBOXによる簡単操作

FX-90 6軸可動テーブル

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X線観察+自動検査装置

装置名 : X線観察装置+自動検査装置
型式 : IX-1000 / IX-1130-5 / 1160-1 / 1160-04

IX-1000


【概要】

マイクロフォーカスX線源を用いた高倍率、高解像度X線観察装置に自動検査モードが付属しました。高倍率での不良解析装置に自動プログラミング・検査判定モードを追加したことで少量多品種検査にも対応可能です。

【特徴】

  • 広角照射マイクロフォーカスX線源を採用
  • X線を傾けないため傾斜撮影時も高倍率検査が可能・ディテクター(受像部)は110万画素フラットパネルもしくは140万画素I.I選択可能
  • 1050×1050画素、 12bit(4096階調)[フラットパネル]
  • 平面による受像で画面のひずみ、輝度むらなし
  • 多軸ロボットにより高機能観察・検査が可能
  • X、Y、R1(テーブル回転)、Z、ZY、R2(カメラ回転)の6軸稼動
  • サンプルをそのままでカメラが60度傾斜、テーブル360度回転
  • カメラの傾斜角度をPCで補正計算、座標追従機能
  • サンプルの観察位置はX線マップ表示、実態カメラ画像から拡大観察
  • 不良個所にはマーキング
  • 検査内容、X線によるボイド検査、はんだ検査、部品検査等
  • LCDタッチパネルによる簡単操作
  • X線管はマイクロフォーカス密閉型、X線焦点径 5,20,40um, 130kV のIX-1000、
    マイクロフォーカス開放型、X線焦点径 1μm,160KVのIIX-1600-1、
    マイクロフォーカス開放型、X線焦点径 0.4μm,160KVのIIX-1600-04。

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