高輝度LED用装置

2”～6”サファイアウェハ対応
両面ラップ機、両面ポリッシュ機

高速膜厚・PL測定装置

高生産性を実現した全自動レーザー加工装置

ミニ積分球を搭載しデータ相関が大幅UP、高精度選別を実現

全自動高輝度LED PKG用
高速ダイボンダー